不同阳极氧化铝模板应用于三维结构的制备及微结构研究

不同阳极氧化铝模板应用于三维结构的制备及微结构研究

陈 昶^1,2※, 刘春海³, 张 伟⁴

(1.乐山师范学院 新能源材料与化学学院，四川 乐山 614000 ; 

2. 乐山西部硅材料光伏新能源产业技术研究院，四川 乐山 614000 ; 

3. 成都理工大学 材料与化学化工学院，四川 成都 610059 ;

 4. 中国核动力研究设计院，四川 成都 610299 )

摘 要：纳微米阵列的形状和纳微米柱的间距对用其制备性能优异的三维储能器件至关重要。以不同阳极氧化铝(AAO)模板作为基底，采用磁控溅射法制备了具有三维结构的Ni亚微米阵列，并通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征三维Ni亚微米阵列的微观形貌，X射线衍射仪(XRD)表征其晶体结构，比较了不同AAO模板制备的Ni亚微米阵列微观形貌特征和晶体结构。结果表明，采用孔径约为450 nm、孔壁约为200 nm的AAO模板作为基底制备的三维Ni亚微米阵列，间距分明、结构稳定且分布均匀；同时，该尺寸模板获得的Ni亚微米阵列具有多晶的面心立方结构且晶体生长状况最优。研究结果对于选择适宜的AAO模板制备性能优异的三维结构储能器件具有指导意义。

关键词：三维结构；阳极氧化铝；磁控溅射；微观形貌